SWPRシリーズ / DeerClean-SAシリーズ

SWPRシリーズ

Al系の配線材料や層間絶縁膜に対して化学的アタックを与えることなく、ドライエッチング後の残渣を除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。

製品一覧

製品名 分類 適用プロセス
SWPR-200シリーズ アルカリ性 Al配線、ビアホール
SWPR-300シリーズ 酸性

DeerClean-SAシリーズ

ドライエッチング、アッシング後の残渣を低温、短時間で除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。

製品一覧

製品名 分類 適用プロセス
DeerClean-SA1v3 酸性 Al配線
DeerClean-SA3シリーズ 酸性 Al配線、ビアホール



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