半導体デバイスの製造に欠かせない超高純度薬品や、特定の機能を持たせた機能性薬品などの電子工業用薬品を開発・製造し、電子機器メーカーに提供しています。
髪の毛の1,000分の1、わずか0.05マイクロメートルの線幅で回路が集積する半導体デバイスの製造では、ごく微量の不純物であっても大きな問題を引き起こすため、微細な加工や精密な洗浄をするために超高純度な薬品の存在は欠かせません。
試薬のイメージが強い当社ですが、実は電子工業用薬品の業界においても世界中のお客様から高い評価を頂いています。
世界の規格となった、EL規格（Electronic Grade）薬品のパイオニア
1960年代に、電子機器メーカーの要望により、試薬よりも高純度な薬品を開発しました。世界に先駆けて関東化学が発売したこの製品の規格「EL」は、そのまま電子工業用薬品における世界の規格となっています。
半導体デバイスは種類が多く、幅広い分野で使われています。例えば、デジタル機器分野では記憶媒体用のフラッシュメモリー、医療分野ではカプセル内視鏡用のCMOSセンサー、自動車分野ではハイブリッドカーに搭載されるパワー半導体、液晶テレビ分野では画像処理LSI、エネルギー分野では太陽電池などにも半導体技術が使われており、私たちの身近な製品の製造に多くの電子工業用薬品が使われています。
関東化学は、超高純度薬品と機能性薬品のパイオニアとして、トップクオリティの製品と、市場のニーズをいち早く掴み製品化する開発力でエレクトロニクス産業の目覚ましい進化を支えています。
無電解めっきによる金微細配線技術
近年の3次元実装に向けて開発した「無電解めっきによるAuマイクロバンプ形成技術」を紹介します。当社の無電解Auめっき液は、φ数μmオーダーの独立したパターンに、析出速度3μm/hr前後の高速析出を可能とし、「ノーシアン、中性、処理温度50～60℃」と操作性にも優れています。また、バッチ処理に適応でき、撹拌を制御することで面内均一性も良好です。次世代半導体パッケージングへの利用が期待されます。
