薬品自動供給装置

薬品自動供給装置

高純度薬品をコンタミネーションフリーで、ユースポイントまで安全に供給することが可能です。薬品種、ご使用量などご要望に合わせたシステムの設計を行うことができます。

関東化学エンジニアリング㈱　取扱

1979年に半導体製造用薬品自動供給装置（S～wagon）を開発して以来、既に数千台のシステムを販売しております。長年培ってきた薬品メーカーとしての知識と装置メーカーとしての技術を生かし、より高品質な薬品をより安全な環境でご使用いただける様、今後ともチャレンジしていきます。

製品一覧

製品名	使用量目安	供給容器例
S～wagon	1,500L/月以下	15L加圧容器 18L加圧容器
LS-100,LS-200	1,500～10,000L/月	100L加圧容器, 200L非加圧容器 等
小型,大型定置式	2,000L/月以上	1m3容器, タンクローリー 等
SCSシリーズ	500L/月以下	5～20L非加圧容器

カタログ

薬品自動供給設備

＊各製品の詳細が掲載されております。

薬品自動希釈混合装置

現像液、ふっ化水素酸、アンモニア水、エッチング液、混酸等の薬品を高い精度で任意の濃度に希釈又は混合調整することができます。

特徴

• ロードセル又は流量計にて薬品や超純水 の量を計量し、ブレンドタンクやインラインミキサーで精度良く混合することができます。
• 混合後は、濃度計（電導度、超音波、滴定など）にて濃度確認並びに、濃度補正ができます。
• 調整した薬品はストレージタンク等を経由し、ユースポイントに供給されます。

製品情報