Aurexel MD

  • シアンを含有しない還元型無電解Auめっき液で、微細バンプを形成できます。
  • 中性域かつ低温で使用でき、操作性や安全性に優れています。
  • ビア埋め込みや、ビア側壁の厚付けめっきにも使用できます。
  • めっき速度は2μm/hr.、硬度は80~90Hkとなります。
  • 置換Auめっき液と組み合わせることで、Cu、Al配線上のUBM(Under Barrier Metal)に使用可能です。

Aurexel MD①jpg   Aurexel MD②jpg

Φ3.5μm、高さ7μmのAuバンプ
 
Ni/Pd/Au(UBM)

製品一覧

製品名 使用温度(℃) pH 特徴
Aurexel MD 50~60 7.0~7.5 ノーシアンタイプ



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