SH-303

・SPM洗浄と同様、カロ酸を含有する剥離液です。
・混合物として、液安定性に優れています。
・ポジ型、ネガ型のレジストを低温、短時間で除去できます。
・ウエハ、ガラス基板上の有機物の洗浄能力が優れています。
・超純水でリンスすることが出来ます。
 

 SH-303

製品一覧

製品名 使用温度(℃) 処理時間(分) 処理方法 推奨容器部材
SH-303 30~40 3~7 ディップ用 ふっ素系樹脂
ポリエチレン



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