SH-303
- SPM洗浄と同様、カロ酸を含有する剥離液です。
- 混合物として、液安定性に優れています。
- ポジ型、ネガ型のレジストを低温、短時間で除去できます。
- ウエハ、ガラス基板上の有機物の洗浄能力が優れています。
- 超純水でリンスすることが出来ます。
製品一覧
| 製品名 | 使用温度（℃） | 処理時間（分） | 処理方法 | 推奨容器部材 |
|---|---|---|---|---|
| SH-303 | 30～40 | 3～7 | ディップ用 | ふっ素系樹脂 ポリエチレン |
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| 製品名 | 使用温度（℃） | 処理時間（分） | 処理方法 | 推奨容器部材 |
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