SH-303
- SPM洗浄と同様、カロ酸を含有する剥離液です。
- 混合物として、液安定性に優れています。
- ポジ型、ネガ型のレジストを低温、短時間で除去できます。
- ウエハ、ガラス基板上の有機物の洗浄能力が優れています。
製品一覧
| 製品名 | 推奨使用温度（℃） | 推奨処理時間（分） |
|---|---|---|
| SH-303 | 30～40 | 3～7 |
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