Frontier Cleanerシリーズ
金属不純物とパーティクルの同時除去が可能であり、金属不純物の再付着がほとんどありません。洗浄工程を減らし、コスト低減を可能とした洗浄液です。
製品一覧
| 製品名 | 洗浄対象 | pH |
|---|---|---|
| Frontier Cleaner-A01 | Siウェーハ | 酸性（有機酸系） |
| Frontier Cleaner-A02 | Siウェーハ | 酸性（無機酸系） |
| Frontier Cleaner-B01 | Siウェーハ | アルカリ性 |
| Frontier Cleaner-A05 | SiC、GaNウェーハ | 酸性 |
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