DeerClean-SAシリーズ
- ドライエッチング、アッシング後の残渣を低温・短時間で除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。
製品一覧
| 製品名 | 分類 | 適用プロセス |
|---|---|---|
| DeerClean-SA1v3 | 酸性 | Al配線 |
| DeerClean-SA3シリーズ | 酸性 | Al配線、ビアホール |
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|---|---|---|
| DeerClean-SA1v3 | 酸性 | Al配線 |
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