DeerClean-TRPシリーズ

Cuや各種low-k膜に対して化学的ダメージを与えず、ドライエッチング後の残渣とTiN ハードマスクを同時に除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。

製品名	選択性	TiNのエッチングレート（nm/min.）
DeerClean-TRP1	Cu、low-k、Co、AlOx	14
DeerClean-TRP2	Cu、low-k	25

エッチングレートは60℃、無撹拌条件での測定値

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