JELKシリーズ
- 各種金属材料にダメージを与えず、有機物、金属系残渣を除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。
- ヒドロキシルアミンを含有せず、消防法に非該当です。
- IPAリンスは不要なため、水リンスのみで使用が可能です。
処理前 |
処理後 |
|
JELK-101処理前後のTiN/Al-Cu/TiN/TEOS/Si基板(60℃、静止、30分) |
製品一覧
製品名 | 特徴 |
防食可能な材料 |
使用時間 |
使用温度 |
---|---|---|---|---|
JELK-001 |
シリーズ中、もっとも除去能力が高い |
Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、 |
1~30 |
25~70 |
JELK-101 |
金属防食性に優れる |
Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、 |
||
JELK-102 |
金属防食性に優れ、毒劇法非該当 |
|||
JELK-103 |
除去性と防食性のバランスに優れる |
製品名 |
エッチングレート(nm/min.:60℃撹拌浸漬) |
|||
---|---|---|---|---|
Al-Cu |
W |
TEOS | TiN | |
JELK-001 | 56.9 | 0.3 | 0.1 | 0.1 |
JELK-101 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
JELK-102 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
JELK-103 | 4.7 | 0.3 | 0.1 | 0.1 |
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