JELKシリーズ

各種金属材料にダメージを与えず、有機物、金属系残渣を除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。イオンインプラント後のレジスト、ドライフィルムレジストの剥離液としてもご使用頂けます。

製品一覧

製品名 特徴
JELK-001 各種レジストの剥離が可能
JELK-101 各種レジストの剥離が可能、Al系材料へのダメージも抑制可能



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