JELKシリーズ

  • 各種金属材料にダメージを与えず、有機物、金属系残渣を除去することが可能なドライエッチング残渣除去液です。
  • ヒドロキシルアミンを含有せず、消防法に非該当です。
  • IPAリンスは不要なため、水リンスのみで使用が可能です。


 JELKシリーズ①   JELKシリーズ②.jpg

処理前
 
処理後

JELK-101処理前後のTiN/Al-Cu/TiN/TEOS/Si基板(60℃、静止、30分)

製品一覧

製品名 特徴

防食可能な材料

使用時間
(分)

使用温度
(℃)

JELK-001

シリーズ中、もっとも除去能力が高い

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、
Th-Oxなど

1~30

25~70

JELK-101

金属防食性に優れる

Cu、Ti、TiN、Ni、SiN、
Th-Ox、Al-Cu、Ag、Wなど

JELK-102

金属防食性に優れ、毒劇法非該当

JELK-103

除去性と防食性のバランスに優れる




製品名

エッチングレート(nm/min.:60℃撹拌浸漬)

Al-Cu

W

TEOS TiN
JELK-001 56.9 0.3 0.1 0.1
JELK-101 0.1 0.1 0.1 0.1
JELK-102 0.1 0.1 0.1 0.1
JELK-103 4.7 0.3 0.1 0.1

 




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