GHP-3シリーズ
- 弱酸性、過酸化水素系のCu薄膜エッチング液で、高精細加工が可能です。
- 液温によりエッチングレートは変化しますが、テーパー角やサイドエッチング量はほとんど変わりません。
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エッチングレート、テーパー角、サイドエッチング量の温度依存性 |
製品一覧
| 製品名 | 使用温度（℃） | エッチングレート （nm/min.） |
処理方法 |
|---|---|---|---|
| GHP-3A | 20～40 | 200 | ディップ、スプレー両用 |
エッチングレート：30℃、攪拌500 r.p.m.での測定値
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