AURUMシリーズ
- AURUMシリーズはヨウ素系のAuエッチング液です。
- AURUM-300シリーズは、NiやAlをほとんど溶解しない、Au選択エッチング液として使用できます。
- AURUM-306はPdエッチング液としても使用できます。
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製品一覧
| 製品名 | エッチングレート （nm/min.） |
微細加工性 | 特徴 |
|---|---|---|---|
| AURUM-101 | 550 | ー | 汎用品、槽洗浄など |
| AURUM-302 | 100 | ◎ | 高精細パターン用、長寿命 |
| AURUM-304 | 300 | ◎ | 高精細パターン用、長寿命 |
| AURUM-306 | 80＊ | ◎ | 高精細パターン用、長寿命、Pdエッチング可能 |
| AURUM-308 | 650＊ | ○ | 高精細パターン用、長寿命、高速エッチング液 |
| AURUM-314 | 350 | ○ | 高精細パターン用、長寿命 |
| AURUM-401 | 100 | △ | 精細パターン用、アルカリ金属フリー |
エッチングレートは30℃、弱撹拌条件での測定値 ※印のみ25℃での測定値
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