AURUMシリーズ

  • AURUMシリーズはヨウ素系のAuエッチング液です。
  • AURUM-300シリーズは、NiやAlをほとんど溶解しない、Au選択エッチング液として使用できます。
  • AURUM-304,-306はPdエッチング液としても使用できます。

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製品一覧

製品名 エッチングレート
(nm/min.)
微細加工性 特徴
AURUM-101 550 汎用品、槽洗浄など
AURUM-201 100 精細パターン用
AURUM-302 100 高精細パターン用、長寿命
AURUM-304 300 高精細パターン用、長寿命、Pdエッチング可能
AURUM-306 80* 高精細パターン用、長寿命、Pdエッチング可能
AURUM-308 650* 高精細パターン用、長寿命、高速エッチング液
AURUM-314 350 高精細パターン用、長寿命
AURUM-401 100 精細パターン用、アルカリ金属フリー

エッチングレートは30℃、弱撹拌条件での測定値 ※印のみ25℃での測定値 




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