ITOシリーズ

  • ITO-02、ITO-301は強酸性の無機酸系組成で、ポリITO、アモルファスITOをエッチングできます。
    (IZOも溶解できますが、エッチングレートが高いため最適ではありません)
  • ITO-07N、ITO-101Nは酸性の有機酸系組成で、アモルファスITO、IZOをエッチングできます。


ポリITOをITO-02で溶解した際のエッチングレート

製品一覧

製品名 エッチング対象 エッチングレート
(35℃、静止、nm/min.)
防食性 処理方法
ITO-02 p-ITO , a-ITO p-ITO 35  ー  スプレー、ディップ両用
ITO-301   p-ITO 10~20
(30℃、攪拌)
Cu 
ITO-07N  a-ITO , IZO   a-ITO 40    Al , Cu
ITO-101N  a-ITO 35 



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