ITOシリーズ
- ITO-02、ITO-301は強酸性の無機酸系組成で、ポリITO、アモルファスITOをエッチングできます。
(IZOも溶解できますが、エッチングレートが高いため最適ではありません) - ITO-07N、ITO-101Nは酸性の有機酸系組成で、アモルファスITO、IZOをエッチングできます。
ポリITOをITO-02で溶解した際のエッチングレート |
製品一覧
製品名 | エッチング対象 | エッチングレート (35℃、静止、nm/min.) |
防食性 | 処理方法 |
---|---|---|---|---|
混酸ITO-02 | p-ITO , a-ITO | p-ITO 35 | ー | スプレー、ディップ両用 |
ITO-301 | p-ITO 10~20 (30℃、攪拌) |
Cu | ||
ITO-07N | a-ITO , IZO | a-ITO 40 | Al , Cu |
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