ITOシリーズ

  • ITO-02、ITO-301は強酸性の無機酸系組成で、ポリITO、アモルファスITOをエッチングできます。
    （IZOも溶解できますが、エッチングレートが高いため最適ではありません）
  • ITO-07N、ITO-101Nは酸性の有機酸系組成で、アモルファスITO、IZOをエッチングできます。


ポリITOをITO-02で溶解した際のエッチングレート

製品一覧

製品名 エッチング対象 エッチングレート
（35℃、静止、nm/min.）		 防食性 処理方法
混酸ITO-02 p-ITO , a-ITO p-ITO　35  ー  スプレー、ディップ両用
ITO-301   p-ITO　10～20
（30℃、攪拌）		 Cu 
ITO-07N  a-ITO , IZO   a-ITO　40    Al , Cu
ITO-101N  a-ITO　35 



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