SEAシリーズ
- 強酸性、混酸系のAg薄膜用エッチング液です。
- 残渣除去性が高く、サイドエッチングが少ない精細加工が可能です。
製品一覧
製品名 | 使用温度(℃) | エッチングレート (30℃、静止、nm/min.) |
特徴 |
---|---|---|---|
混酸SEA-1 | 25~40 | 600 | ディップ用 |
混酸SEA-2 | 800 | スプレー用 | |
混酸SEA-5 | 350(25℃) | ディップ、スプレー両用 |
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製品名 | 使用温度(℃) | エッチングレート (30℃、静止、nm/min.) |
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混酸SEA-1 | 25~40 | 600 | ディップ用 |
混酸SEA-2 | 800 | スプレー用 | |
混酸SEA-5 | 350(25℃) | ディップ、スプレー両用 |
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