混酸アルミエッチング液

  • 強酸性、混酸系で微細加工が可能なAlエッチング液です。
  • Moエッチング液としても使用できます。


エッチングレートの温度依存性(静止条件)

製品一覧

製品名 使用温度(℃) エッチングレート
(nm/min)
処理方法
混酸Alエッチング液 30~50 100 ディップ、スプレー両用



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