混酸Alエッチング液
- 強酸性、混酸系で微細加工が可能なAlエッチング液です。
- Moエッチング液としても使用できます。
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エッチングレートの温度依存性（静止条件） |
製品一覧
| 製品名 | 使用温度（℃） | エッチングレート （nm/min.） |
処理方法 |
|---|---|---|---|
| 混酸Alエッチング液 | 30～50 | 100 | ディップ、スプレー両用 |
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エッチングレートの温度依存性（静止条件） |
| 製品名 | 使用温度（℃） | エッチングレート （nm/min.） |
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|---|---|---|---|
| 混酸Alエッチング液 | 30～50 | 100 | ディップ、スプレー両用 |
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