TIシリーズ

• Tiの選択除去が可能なエッチング液で、サイドエッチングが少なく、高精細にパターニングできます。
• TI-8Aは過酸化水素の分解を抑制したアルカリ性タイプのエッチング液で、TiNやTiWのエッチングにも適用できます。40℃、撹拌条件でのTiのエッチングレートは約170nm/min.です。
• TI-101は酸性で液ライフが長いエッチング液です。 過酸化水素は含有しません。

TI-101でTiを溶解した際のエッチングレート

初期状態		エッチング後
TI-101処理前後のCu/Ti/ガラス基板（25℃、撹拌条件）

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