TIシリーズ

  • Tiの選択除去が可能なエッチング液で、サイドエッチングが少なく、高精細にパターニングできます。
  • TI-7は過酸化水素を含有するエッチング液で、TiNやTiWのエッチングにも適用できます。30℃、撹拌条件でのTiのエッチングレートは約40nm/min.です。
  • TI-101は酸性で液ライフが長いエッチング液です。 過酸化水素は含有しません。


   TI-101①  

TI-101でTiを溶解した際のエッチングレート




TI-101②   TI-101③

初期状態
 
エッチング後

TI-101処理前後のCu/Ti/ガラス基板(25℃、撹拌条件)

製品一覧

製品名 液性 ダメージが少ない材料 処理方法

TI-7

アルカリ性

IGZO、Au

ディップ、スプレー

TI-101

酸性

Au、Ag、Cu、TEOS、SiN

ディップ、スプレー




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