KSMFシリーズ
- 強酸性、混酸系組成で、Mo/Al系、Ti/Al系積層膜を一括でエッチングできます。
- サイドエッチング量が少なく、テーパー状の断面形状が得られます。
- KSMF-200シリーズはフッ化物を含有しています。
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製品一覧
| 製品名 | エッチング対象 | 使用温度（℃） | 処理方法 |
|---|---|---|---|
| KSMF-100 | Mo/Al積層膜 Mo/Al/Mo積層膜 |
30～50 | ディップ、スプレー両用 |
| KSMF-150 | |||
| KSMF-260 | Ti/Al系積層膜 Ti/Al/Ti積層膜 |
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