KNSシリーズ
- KNS-101はAlに対するダメージが小さく、Niスパッタ膜を選択的にエッチングできます。
- KNS-101はリワーク用途としてCuの溶解除去にも適用できます。
製品一覧
| 製品名 | *エッチングレート （nm/min.） |
特徴 |
|---|---|---|
| KNS-101 |
120(25℃) |
Al、ガラス、Si、SiN、SiO2に対するダメージが少ない |
*ディップ(撹拌)の測定値、Niスパッタ膜のエッチングレート
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| 製品名 | *エッチングレート （nm/min.） |
特徴 |
|---|---|---|
| KNS-101 |
120(25℃) |
Al、ガラス、Si、SiN、SiO2に対するダメージが少ない |
*ディップ(撹拌)の測定値、Niスパッタ膜のエッチングレート
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