Crシリーズ
- 水晶振動子、MEMSセンサなどの電極材料や、フォトマスクなどに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。
- サイドエッチングが少なく、高精細にパターニングできます。
製品一覧
| 製品名 | 特徴 | 使用温度（℃） |
|---|---|---|
|
Cr-201 |
高速エッチングレート用 |
25～40 |
| Cr-202 |
低速エッチングレート用 |
|
| Cr-301 |
超低速エッチングレート用 |
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| 製品名 | 特徴 | 使用温度（℃） |
|---|---|---|
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Cr-201 |
高速エッチングレート用 |
25～40 |
| Cr-202 |
低速エッチングレート用 |
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