Crシリーズ
- 水晶振動子、MEMSセンサなどの電極材料や、フォトマスクなどに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。
- サイドエッチングが少なく、高精細にパターニングできます。
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Cr-201 |
製品一覧
| 製品名 | *エッチングレート (nm/min) |
特徴 | 使用温度（℃） |
|---|---|---|---|
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Cr-201 |
70(25℃) |
Au、Qzに対するダメージが少ない |
25～40 |
| Cr-301 |
7(25℃) |
Au、Qzに対するダメージが少ない |
*ディップ(静止)の測定値
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