Crシリーズ

  • 水晶振動子、MEMSセンサなどの電極材料や、フォトマスクなどに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。
  • サイドエッチングが少なく、高精細にパターニングできます。

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製品一覧

製品名 特徴 使用温度(℃)

Cr-201

高速エッチングレート用

25~40

Cr-202

低速エッチングレート用

 




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