KPZシリーズ
- PZT（チタン酸ジルコン酸鉛）薄膜エッチング液です。
- 強酸性、混酸系組成で、PZTを高速エッチングできます。
- エッチング後の断面形状はほぼ垂直になります。
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製品一覧
| 製品名 | 使用温度（℃） | エッチングレート （35℃、強撹拌、μm/min.） |
エッチング断面 | 処理方法 |
|---|---|---|---|---|
| KPZ-02 | 30～40 | 1～3 | 垂直 | スプレー用 |
| KPZ-03 | 30～40 | 1～3 | 垂直 | スプレー用 |
| KPZ-04 | 20～35 | 10～20（静止時5） | 約80° | ディップ、スプレー両用 |
エッチングレートや断面形状は、PZT膜質によって変動します。
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