KPZシリーズ

  • PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)薄膜エッチング液です。
  • 強酸性、混酸系組成で、PZTを高速エッチングできます。
  • エッチング後の断面形状はほぼ垂直になります。


製品一覧

製品名 使用温度(℃) エッチングレート
(35℃、強撹拌、μm/min.)
エッチング断面 処理方法
KPZ-02 30~40 1~3 垂直 スプレー用
KPZ-03 30~40 1~3 垂直 スプレー用
KPZ-04 20~35 10~20(静止時5) 約80° ディップ、スプレー両用

エッチングレートや断面形状は、PZT膜質によって変動します。




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