GHP-3A/BTF-3A
- GHP-3Aは過酸化水素水と混合して使用するCu選択エッチング液です。
- BTF-3Aは過酸化水素水と混合して使用するCu/Ti積層膜の一括エッチング液です。
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GHP-3A |
BTF-3A |
製品一覧
| 製品名 | 使用温度（℃） | *エッチングレート （nm/min.） |
処理方法 |
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| GHP-3A | 20～40 | 130(25℃) | ディップ、スプレー両用 |
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BTF-3A |
20～40 |
220(25℃) |
ディップ、スプレー両用 |
*ディップ(撹拌)の測定値
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