MOSEシリーズ
- サイドエッチング量が小さく、IGZO膜の微細加工が可能です。
- 酸性の有機酸系組成で、制御しやすい低速エッチングレートを実現しました。
- アモルファスITOエッチング液として使用することも出来ます。
- エッチングレートはIGZO膜質に依存します。
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製品一覧
| 製品名 | 特徴 | 使用温度（℃） | 処理方法 |
|---|---|---|---|
| MOSE-001 | 低速タイプ | 30～50 | ディップ、スプレー用 |
| MOSE-002 | 高速タイプ | 30～50 | ディップ、スプレー用 |
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