KNNシリーズ

  • KNN(ニオブ酸カリウムナトリウム)薄膜エッチング液です。
  • 塩基性、過酸化水素系組成で、KNNの高精細加工が可能です。
  • パターニングにはSiO2、TEOS、SiNなどのハードマスクが必要です。


製品一覧

製品名 使用温度(℃) エッチングレート
(35℃、強撹拌、μm/min.)
エッチング断面 処理方法
KNN-01 80~95 50 垂直 ディップ用
KNN-02 80~95 70 垂直 ディップ用

エッチングレートや断面形状は、KNN膜質によって変動します。




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