KNNシリーズ

• KNN（ニオブ酸カリウムナトリウム）薄膜エッチング液です。
• 塩基性、過酸化水素系組成で、KNNの高精細加工が可能です。
• パターニングにはSiO2、TEOS、SiNなどのハードマスクが必要です。

製品一覧

エッチングレートや断面形状は、KNN膜質によって変動します。