Siエッチング液

  • Siエッチングに用いる高純度アルカリです。任意の濃度に希釈してご使用下さい。
  • NaOH-CXには添加剤を含有しており、安価にウエハへの金属吸着を抑制できます。
  • 超高純度品は、ウエハへの金属吸着をさらに低減できます。

製品一覧

製品名 組成 特徴
 48%-水酸化カリウム水溶液  48% KOH 電子工業用
KOHLM  48% KOH 超高純度 
  48%-水酸化ナトリウム水溶液  48% NaOH 電子工業用
NaOH-CX  48% NaOH + 添加剤 電子工業用
NaOHLM  48% NaOH 超高純度 
TMAH-22 22% TMAH 超高純度 
TMAH-25 25% TMAH 超高純度 

TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム




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