Siエッチング液
- Siエッチングに用いる高純度アルカリです。任意の濃度に希釈してご使用ください。
- NaOHLM-CXは添加剤の効果により、ウエハへの金属不純物の吸着を低減できます。
製品一覧
| 製品名 | 組成 | 特徴 |
|---|---|---|
| NaOHLM | 48% NaOH | 超高純度のNaOHを使用しているため、金属不純物の吸着量が少ない |
| NaOHLM-CX |
NaOH ＋ 添加剤 |
超高純度のNaOHと添加剤の効果により、金属不純物の吸着量が少ない |
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