Siエッチング液
- Siエッチングに用いる高純度アルカリです。任意の濃度に希釈してご使用下さい。
- NaOH-CXには添加剤を含有しており、安価にウエハへの金属吸着を抑制できます。
- 超高純度品は、ウエハへの金属吸着をさらに低減できます。
製品一覧
| 製品名 | 組成 | 特徴 |
|---|---|---|
| 48%-水酸化カリウム水溶液 | 48% KOH | 電子工業用 |
| 48%-水酸化ナトリウム水溶液 | 48% NaOH | 電子工業用 |
| NaOHLM-CX | 48% NaOH + 添加剤 | 電子工業用 |
| NaOHLM | 48% NaOH | 超高純度 |
| TMAH-22 | 22% TMAH | 超高純度 |
| TMAH-25 | 25% TMAH | 超高純度 |
TMAH：水酸化テトラメチルアンモニウム
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