REC-01
- 強酸性のRu薄膜用エッチング液です。
- 酸化ルテニウムを除去することも可能です。
- 加温により液ライフが短縮されますので、なるべく低温での使用を推奨致します。
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エッチングレートの温度依存性 |
製品一覧
| 製品名 | 使用温度（℃） | エッチングレート （30℃、撹拌、nm/min.） |
処理方法 |
|---|---|---|---|
| REC-01 | 20～40 | 100 | バッチ式、枚葉式 |
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エッチングレートの温度依存性 |
| 製品名 | 使用温度（℃） | エッチングレート （30℃、撹拌、nm/min.） |
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| REC-01 | 20～40 | 100 | バッチ式、枚葉式 |
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