REC-01

  • 強酸性のRu薄膜用エッチング液です。
  • 酸化ルテニウムを除去することも可能です。
  • 加温により液ライフが短縮されますので、なるべく低温での使用を推奨致します。


エッチングレートの温度依存性

製品一覧

製品名 使用温度(℃) エッチングレート
 (30℃、nm/min)
処理方法
REC-01 20~40 100 ディップ用



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